I plasma-til-kjemisk dampavsetning (PECVD)-prosessen påvirker hver elektriske forbindelse, fra RF-kraftoverføring til prosessgasskontroll, direkte ensartetheten av tynnfilmavsetning og sponutbytte. Stillet overfor det tøffe miljøet med miniatyrisert utstyr, høyt vakuum og sterk elektromagnetisk interferens,WAGOpicoMAX®-kontakter, med sine tre kjernefordeler «kompakthet, pålitelighet og effektivitet», har blitt den ideelle tilkoblingsløsningen for PECVD-systemer.
Innovativ kompakt design
Tilpasning til presisjonskammeroppsett
Den interne plassen i PECVD-utstyr er begrenset, noe som krever tett plassering av strøm-, signal- og sensorledninger rundt reaksjonskammeret. picoMAX® benytter en enkeltfjær, dobbeltvirkende design, med flere pin-avstander på 3,5/5,0/7,5 mm tilgjengelig. Etter montering tar den opp 30 % mindre plass enn tidligere produkter, og tilpasser seg perfekt til ledningskravene rundt kammeret. Hullkontakten er nesten fullstendig innebygd i pin-hodet, noe som støtter side-om-side-montering uten tap av poler, noe som forbedrer kretskortutnyttelsen betydelig og muliggjør ordnet plassering av signal- og strømledninger uten å forstyrre prosessgassstrømmen.
Robust beskyttelse mot ekstreme driftsforhold
PECVD-prosesser involverer høyvakuum, høyfrekvent plasma og vibrasjonsmiljøer, noe som stiller strenge krav til kontaktens pålitelighet. picoMAX® har en stabil struktur med opptil 12 g vibrasjonsmotstand, som forhindrer at forbindelsen løsner forårsaket av høyfrekvent vibrasjon. Den har også en design som hindrer feilinnsetting og låsemekanisme, noe som eliminerer installasjonsfeil og forhindrer utilsiktet frakobling, noe som sikrer kontinuerlig drift av utstyret uten nedetid.
Verktøyfri hurtigkobling
picoMAX® har verktøyfri hurtigkoblingsteknologi, som muliggjør "plug-and-hold"-tilkoblinger for både enkelttrådet og flertrådet ledninger med kaldpressede kontakter. Komplekse ledningstilkoblinger fullføres i ett trinn, noe som forbedrer monteringseffektiviteten betydelig og forkorter feilsøkingssykluser. Den modulære designen er kompatibel med reflow-loddeprosesser og oppfyller kostnadsreduksjonsbehovene til automatisert produksjon. Den dekker også alle PECVD-tilkoblingsscenarier: 3,5 mm pinneavstand passer til 0,2–1,5 mm² signalledninger, mens 5,0/7,5 mm pinneavstand støtter 16A strømledninger. Den støtter ledning-til-kort- og vegggjennomføringsmetoder, er kompatibel med kontrollskap- og hulromskabling, og overholder GB/T 5226.1 elektriske sikkerhetsstandarder, noe som bygger et solid forsvar for prosessstabilitet.
I halvlederindustrien, hvor prosesspresisjon på nanometernivå er avgjørende, er pålitelige forbindelser garantien for høyt utbytte.WAGOpicoMAX®, med sitt revolusjonerende produktdesignkonsept, oppnår "liten størrelse, høy ytelse" i et kompakt format, og gir stabile, effektive og langvarige tilkoblingsløsninger for PECVD-utstyr. Dette hjelper halvlederprodusenter med å overvinne utfordringene med presisjonsprosesstilkoblinger, og sikrer presisjonen på mikrometernivå til hver brikke.
Publisert: 13. mars 2026